钽钯超薄电阻式氢气传感器

基于钽合金的电阻式薄膜氢气传感器采用5 nm传感层、4 nm粘附层、5 nm覆盖层与聚合物保护层，在室温厌氧条件下实现从ppb到100%的无迟滞可逆氢检测，响应时间低于1秒。原位X射线衍射及X射线与中子反射表明，纳米限域有效抑制了块体材料遇氢时的不利相变，使膨胀完全弹性化，从而获得稳定、长寿命的无迟滞传感性能。合金化设计进一步最大化了传感器灵敏度。